产品特点:
•采用上进气下抽气的方式,专利的抽气挡板保证优良的均匀性
•具有缺气、压力保护、电路保护等安全保护系统
•电极板用整块铝板中间镂空,冷却通道采用深钻孔方式结合内部特定位置截流,引导冷却水按规定方向运行,保证温度均匀性
•采用两路水路,分别单独给真空腔体和干泵 确保冷却效果
MORE+
•具有缺气、压力保护、电路保护等安全保护系统
•电极板用整块铝板中间镂空,冷却通道采用深钻孔方式结合内部特定位置截流,引导冷却水按规定方向运行,保证温度均匀性
•采用两路水路,分别单独给真空腔体和干泵 确保冷却效果