等离子清洗机

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微波等离子设备

微波等离子设备

  • 所属分类:微波等离子设备
  • 浏览次数:
  • 二维码:
  • 发布时间:2023-12-12 14:32:14
  • 产品概述

产品特点:

(1)采用自动控制界面和触摸屏人机界面,操作方便且可随时实时工艺监控。

(2)独特的型腔设计,清洗均匀性好,清洗质量高。

(3)等离子清洗具有重复性高,可控性强、利用率高、无污染、运行成本低等特点。

(4)不同的腔体结构组合适用于不同类型的产品、组件或载具。

(5)应用领域比较广泛,如半导体封装行业、半导体功率器件等


技术参数:

序号

型号

AS-V100

1

设备外形尺寸

长×深×高=1200mm×800mm×1750mm

2

真空腔体尺寸

长×深×高=450mm×450mm×610mm

3

电源频率

2.45GHz

4

电源功率

600w

5

电极板规格

非标定制

6

软件控制

PLC触摸屏

7

气体纯度要求

工业级气体或更好

8

可加载气体

O₂ / N₂/ Ar


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