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垂直式等离子设备

垂直式等离子设备

  • 所属分类:垂直式等离子设备
  • 浏览次数:
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  • 发布时间:2023-12-12 15:03:42
  • 产品概述

产品特点:

●采用上进气下抽气的方式,专利的抽气挡板保证优良的均匀性。

●具有缺气、压力保护、电路保护等安全保护系统。

●电极板用整块铝板中间镂空,冷却通道采用深钻孔方式结合内部特定位置截流,引导冷却水按规定方向运行,保证温度均匀性。<br>

采用两路水路,分别单独给真空腔体和干泵   确保冷却效果。

垂直式等离子设备


技术参数:

序号

型号

AV-P30

1

设备外形尺寸

长×深×高=2380mm×2150mm×2200mm

2

真空腔体尺寸

长×深×高=1445mm×1265mm×1055mm

3

大处理尺寸

长×宽=1120mm×635mm

4

大处理层数

15层

5

输入电压

三相交流 380V 50Hz

6

输出频率

40KHz

7

输出功率

10Kw

8

放电真空度

20Pa-80Pa

9

可加载气体

四种(O₂,N₂,H₂,CF4)


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