爱特维等离子设备

氩气是一种稀有气体，历经弱电解质今后的等离子体不容易与基材发生化学变化。在等离子体整理中，氩气主要是运用于与基材外表的物理学整理及外表粗化。因而氩气等离子清洗机被广泛运用于半导体芯片、微电子技术制作职业及晶圆制作制作职业等。

一、外表整理

在圆晶、夹层玻璃等商品外表颗粒物的消除全过程中，一般会选用等离子体对原材料外表的颗粒物展开负电子，多方面完成对颗粒物的分散化和松脱处理，随后再展开抽滤整理等工艺处理，会拥有明显的实际效果。在半导体封装运用中特别突显，在历经打线加工工艺后为避免 输电线空气氧化，需选用氩等离子体或氩氢低温等离子对商品外表展开等离子清洗，完成更强的商品处理实际效果。

二、外表粗化

等离子清洗机的外表粗化处理也称之为外表离子注入处理，其关键目地是提高原材料的外表外表粗糙度，然后提高原材料的粘合、包装印刷和电焊焊接等特性。其他活性汽体经处理后也可提高商品外表支撑力，但氩离子化形成的颗粒物要更重，在静电场的成效下氩正离子的机械能较高过其他活性汽体，因而其粗化实际效果更号。氩气在无机化合物外表粗化的全过程中运用更为遍及，如夹层玻璃板材的外表处理、金属材料板材的外表处理等。

三、氩气

在等离子清洗机的外表活性及整理中，混合气相对而言可以获得更强的处理实际效果，遍及的是氩和氧的化合物。且因为氩的相对分子质量大，弱电解质后形成的颗粒物较为重，在静电场的成效下氩正离子的机械能高过其他活性汽体，其实际效果更明显。