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IC载板在线式PLASMA--双腔全自动、无接触

IC载板在线式PLASMA--双腔全自动、无接触

  • 所属分类:3IC载板在线式PLASMA
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  • 发布时间:2023-09-22 15:38:46
  • 产品概述

IC载板在线式PLASMA--双腔全自动、无接触


产品特点:

可选配自动上下料/连线,避免人员接触产品,全自动方式减少了人为因素,降低二次污染并节约了人力成本。

设备清洗后其表面活性明显增强,均匀性和粘结力显著提升。

支持单张自动扫码,方便追溯,支持MES系统对接

机器人直接抓取,避免传送污染


PLASMA(全名:易捷载板在线式PLASMA)是一种全自动、无接触的装载板处理系统。它是一项先进的技术,可以广泛应用于半导体制造和其他高科技领域,为工业生产带来了巨大的便利和效益。


PLASMA系统采用双腔结构,包括清洗腔和处理腔。在整个处理过程中,载板完全不接触机械设备,由机器人自动操作,避免了人为因素对产品质量的影响,提高了生产效率和产品一致性。


PLASMA系统的主要功能是清洗和处理载板。在清洗腔中,载板会经过高压喷洗和喷射的清洗溶液,去除表面的杂质和污染物。清洗过程非常彻底,可以保证载板的清洁度要求,同时减少后续处理过程中的不良率。


在处理腔中,PLASMA系统会使用高能离子束或等离子体技术,对载板进行精细处理。离子束可以改变载板表面的化学和物理特性,使其具有更好的附着力、耐磨性和电导率等特点,提高了载板的性能。等离子体技术可以对载板进行表面活化处理,增强载板与其它材料的黏附力,提高产品的整体工艺性能。


PLASMA系统的优点不仅在于其全自动、无接触的特性,还在于其处理能力和稳定性。系统采用先进的控制技术,能够精确控制处理过程的各项参数,保证了处理效果的一致性。而且,PLASMA系统的处理腔具有高真空环境,可以确保载板在无尘的条件下进行处理,减少了载板的再次污染。


PLASMA系统的应用非常广泛。在半导体制造领域,PLASMA系统可以用于清洗和处理半导体晶片的载板,提高晶片的质量和性能;在太阳能电池制造领域,PLASMA系统可以用于提高电池片的表面特性,提高电池的能量转换效率;在平板显示器制造领域,PLASMA系统可以用于清洗和处理液晶载板,提高显示屏幕的清晰度和亮度。


总之,PLASMA(易捷载板在线式PLASMA)是一种先进的装载板处理系统,采用双腔结构,全自动、无接触地进行载板清洗和处理。该系统具有高效、稳定的性能,广泛应用于半导体制造和其他高科技领域,为工业生产带来了便利和效益。


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