
因为各行业清洗需求纷歧,很多人挑选
等离子清洗机之后,在清洗工作中会因为种种原因,会导致清洗作用不理想,影响等离子清洗作用的要素有哪些?
电极
因为电极是暴露在等离子体中,一些残次资料制成的电极容易发生溅射现象,进而影响等离子清洗的稳定性。较小电极的间距可以将等离子体限制在狭小的区域从而取得较高密度的等离子体,实现快速的清洗,反之,间距添加,清洗速度也随之下降。电极通常作为托盘使用,较大尺度的电极可以一次性清洗更多物件,进步清洗功率。因此,电极的资料、布局和尺度等要素对等离子清洗作用有着明显的影响。
压强
压强是真空等离子清洗的重要参数之一,压强进步等离子体的密度也会添加,能明显进步等离子清洗的速度。此外,工作压强的改动会引起等离子体清洗反应机理的变化。
功率及频率
等离子清洗机的电源功率对各项参数都有影响,比如电极温度、自偏压、清洗功率等。输出功率添加,清洗速度加强;频率的添加等离子体的密度也会逐渐添加,因此,清洗功率可以得到提高。
气体
气体的挑选是等离子清洗的关键步骤,尽管大多数气体或混合气体都能对污染物起到去除作用,但清洗的作用和速度却会相差几倍乃至十几倍,由此可见合理的挑选气体可以大幅进步清洗速度。
影响等离子清洗作用的要素有哪些?以上几点会直接影响等离子清洗机的清洗作用。在采购等离子清洗机之前或者使用前,必定要根据所清洗的资料和污渍,做相应的工艺验证,以便于取得好的清洗作用。