1.自检真空泵油位和油的纯度，每月自检真空泵油位和油的纯度，调查油位窗口。当油位挨近Z低红线刻度时，添加到油红标线上下之间；调查油的色彩。正常油洁净通明。当油浑浊(油色彩变灰或油位窗口模糊)，真空泵噪音异常时，及时更换真空体油。
2.在线等离子清洗机清洗反响室。先用脱脂棉布沾上无水乙醇(俗称酒精)擦洗真空腔(不要用乙醇擦洗反响腔调查玻璃)。第二腔导入气体(氩+氧或氮+氧)，用等离子反响铲除腔内残留物。每月至少除理一次，除理时段约为10分钟。
3.等离子清洗机要查塑料管子的完好性和真空体密封性，自检设备的完好性。彻底清洁反响室后，应避免污染物走漏到空腔中。自检反响室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否衔接紧固，是否老化。
4.查电源的真空等离子清洗机，电压是否与设备匹配。
在线等离子清洗机的详细保护:
1.自检真空泵油位和油的纯度，每月自检真空泵油位和油的纯度，调查油位窗口。当油位挨近Z低红线刻度时，添加到油红标线上下之间；调查油的色彩。正常油洁净通明。当油浑浊(油色彩变灰或油位窗口模糊)，真空泵噪音异常时，及时更换真空体油。
2.在线等离子清洗机清洗反响室。先用脱脂棉布沾上无水乙醇(俗称酒精)擦洗真空腔(不要用乙醇擦洗反响腔调查玻璃)。第二腔导入气体(氩+氧或氮+氧)，用等离子反响铲除腔内残留物。每月至少除理一次，除理时段约为10分钟。
3.等离子清洗机要查塑料管子的完好性和真空体密封性，自检设备的完好性。彻底清洁反响室后，应避免污染物走漏到空腔中。自检反响室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否衔接紧固，是否老化。
4.查电源的真空等离子清洗机，电压是否与设备匹配。
