等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下发生的物质。等离子清洗、刻蚀发生等离子体的设备是在密封容器中设置两个电极构成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子距离及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场效果，发生磕碰而构成等离子体，同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体外表，从而达到外表处理、清洗和刻蚀的效果。

等离子体清洗机外表改性主要是针对于对高分子资料和金属外表改性。高聚物具有分子可设计性,经过等离子外表活化效果能够在外表引进不同的基团来改进其功能,如亲水性、疏水性、润湿性、黏结性;引进具有生物活性的分子或生物酶,进步其生物相容性。采用等离子体清洗机技能对聚合物资料外表进行改性,不但改进了特定环境下高分子资料的适用功能,也拓宽了常规高分子资料的适用范围。

等离子表面活化是物体经过等离子体清洗机处理之后外表能增强、进步粘合度，附着力；等离子体清洗机外表刻蚀指资料外表经过反响气体，等离子被选择性地刻蚀，被刻蚀的资料转化为气相并被真空泵排出，处理后的资料微观比外表积添加并具良好亲水性；等离子体清洗机纳米涂层是将反响气体如: 六甲基二硅醚(HMDSO)，六甲基二硅烷胺(HMDSN)，四乙二醇二甲醚，六氟乙烷(C2F6)....] 引进等离子反响室，经过等离子聚合效应会在外表构成纳米涂层，这项技能能够运用到众多领域。