等离子活化
华东联系人 朱先生:13584967268
华南联系人 郭先生:13826959997

新闻中心News

联系我们Contact us

苏州爱特维电子科技有限公司
联系人:朱先生
手 机:13584967268
邮 箱:sam.zhu@atv-corp.com
网 址:www.atv-corp.com
地 址:昆山市周市镇长兴东路268号

东莞爱特维等离子科技有限公司
联系人:郭文江
电话:13826959997
地址:东莞市长安镇乌沙路551号怡丰商业大厦606


新闻中心

您的当前位置: 首 页 >> 新闻资讯 >> 行业新闻

等离子清洗机如何快速清(除)残留胶渣

发布日期:2021-06-21 00:00 来源:http://www.atv-corp.com 点击:

等离子清洗机如何快速清(除)残留胶渣



        等离子应用包括处理、灰化/光刻胶/聚合物去除、介电质刻蚀等等。使用等离子清洗机不仅彻底去除光刻胶和其他有(机)物,而且活(化)晶圆表面,提高晶圆表面浸润性。只需要通过等离子清洗设备的简单处理,就能将自由基高分子聚合物完(全)清(除)干净,包括藏在很深且狭窄尖锐的沟槽里的聚合物。达到其他清理方式很难完成的效(果)。

        在半导体器件生产过程中,晶圆芯片表面会存在各种微粒、金属离子、有(机)物及残留等沾污杂质,为避免污染物对芯片处理性能造成严重影响及缺陷,在保证不破坏芯片处理及其他表面特性的前提下,半导体晶圆在制造的过程中,需要经过多次的表面清洗步骤,而等离子清洗机是晶圆光刻胶的理想清洗设备。

等离子体在电场下加速,从而在电场作用下高速运动,对物体表面发生物理碰撞,等离子的能量足以去除各种污染物。等离子清洗不需要其他的原料,只要空气就能够满足要求,使用方便而且没有污染,同时比超声波清洗更具有的优势等离子不但可以进行表面清洗,更重要的是可以提高表面活性,等离子体与物体表面进行化学反应能够产生活性化学集团,这些化学集团有很高的活性,从而应用范围很广,比如提高材料表面粘接能力,提高焊接能力,邦定性,亲水性等等很多方面,因此等离子清洗已经成为现代清洗行业的主流趋势。



等离子清洗,等离子清洗机,等离子设备

相关标签:等离子清洗,等离子清洗机,等离子设备