定期保养计划

发布日期：2021-03-26 16:57 来源：http://www.atv-corp.com 点击：

定期保养计划

等离子设备在使用过程中，腔体内出现的一些残留物和氧化层，在前期发展阶段，该薄层并不影响设备的运行或成品。但是经过持续的运转后，发现了除胶效果不稳定，能察觉到微小改变，所以在使用一段时间之后是需要将托板架与电极进行清洗翻新。

同时设备出现的故障也直接体现设备的保养的程度。如经适当的维修、翻新，电极的使用寿命可达到预期使用的较大值。那么通过等离子清洗设备的原理和构成制定可行性保养计划很关键。

从图1可看出等离子设备的三大条件是真空环境（真空机组，真空检测仪，腔体的密闭）、高能量（射频电源、温度、工艺气体）和介质（腔体、电极、托板架）组成。那么等离子设备的保养应从以上这些方面进行，根据保养项目划分周期分为每日、每周、每月、半年、每年、2~3年，见表1。

目前，用等离子除胶工艺代替常规化学溶剂除胶及高温氧气除胶已获得显著效果。在实际生产过程中，影响等离子除胶效果的不仅仅是工艺技术，还有设备的稳定性，比如工艺气体的微小泄露、电极托板架的烃基残留物、腔体内其他管道的氧化程度以及设备本身不同程度的故障这些都是在PCB制造过程中直接对生产产生影响。因此，做好等离子清洗设备维护保养
非常必要。