新闻中心News

联系我们Contact us

苏州爱特维电子科技有限公司
联系人:朱先生
手 机:13584967268
邮 箱:sam.zhu@atv-corp.com
网 址:www.atv-corp.com
地 址:昆山市周市镇长兴东路268号
邮 编:215300

新闻中心

您的当前位置: 首 页 >> 新闻资讯 >> 公司新闻

等离子清洗机辉光放电原理

发布日期:2016-03-14 00:00 来源:http://www.atv-corp.com 点击:

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理等离子清洗

辉光放电时,在放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区 。因正离子的漂移速度远小于电子,故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多,使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这是辉光放电的显著特征,而且在正常辉光放电时,两极间电压不随电流变化。

所以,我们在实验或生产过程中,千万不要将材料接触于电极板任何部位,否则将会导致整机短路,严重的情况则会烧坏电路板等。正确理解辉光的原理,对我们等离子清洗工艺处理特殊材质会有很大的帮助!

相关标签:等离子清洗,等离子处理

在线客服
点击咨询
欢迎给我们留言
请在此输入留言内容,我们会尽快与您联系。
联系人
座机/手机号码
祥云平台技术支持